山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


聯(lián)系方式


地址:濟南市槐蔭區(qū)濟南寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)園

電話:15562450816

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石墨烯薄膜CVD設備

◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件,通過控制生長工藝,既可以生長出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長出花瓣狀的石墨烯的單晶

石墨烯卷對卷

? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設備 ? 寬幅卷對卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結構

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