半導(dǎo)體工藝設(shè)備

• 氧化/擴散/退火

  • 立式爐

  • SiC高溫氧化爐

  • SiC高溫退火爐

  • 臥式爐

• CVD設(shè)備

  • 立式LPCVD

  • 臥式LPCVD

化合物晶體設(shè)備

• SiC單晶生長設(shè)備

  • PVT法長晶爐

  • 液相法長晶爐

  • 籽晶粘接設(shè)備

• GaN單晶生長設(shè)備

• Ga2O3單晶生長及外延設(shè)備

  • 導(dǎo)模法長晶爐

  • 垂直布里奇曼法（VB）爐（非銥技術(shù)）

  • HVPE外延爐

• 金剛石單晶生長設(shè)備

• GaAs / InP 單晶生長設(shè)備